Department of Electronics, Graduate School of Engineering, Nagoya University

Plasma Electronics Laboratory

Plasma source, Plasma diagnostics and Plasma application

■ Thesis

>>2020　 >>2019　 >>2018　 >>2017　 >>2016　 >>2015　 >>2014　 >>2013　 >>2012　 >>2011　 >>2010　 >>2009　 >>2008　 >>2007　

◆ 2020

Doctor's Course

Name	Title
Makoto MORIYAMA	Study on the charge-up behavior at the bottom of high-aspect ratio holes in a capacitively coupled plasma

Master's Course

Name	Title
Chu Manh Hung (G30)	Heat Transfer in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma
鈴木丈	流動液体プラズマ処理装置を用いた銀ナノ粒子の安定合成
中原尚哉	二周波重畳容量結合型Ar/C₄F₈プラズマにおける高アスペクト比ホール底部の電荷密度評価

Bachelor's Degree

Name	Title
市川景太	イメージング法を用いた基板入射高速粒子の角度分布計測
岩田悠揮	大気圧長尺マイクロ波プラズマ生成装置の改良による酸素添加プラズマの安定性の向上
関悠斗	大気圧質量分析器の開発とDC放電中クラスターイオン計測への応用
濱口育未	高密度マイクロ波プラズマを用いた高導電性炭素膜の広幅堆積

◆ 2019

Master's Course

Name	Title
小間浩嗣	酸素添加大気圧長尺マイクロ波プラズマを用いた広幅樹脂の表面処理
田村晃汰	グロー放電水素プラズマを用いた金属スズの水素吸蔵量評価
馬場賀己	ガス流れを持つスロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造解析
福田奨	プラズマ電位制御型マイクロ波プラズマCVDによる接地基板上への酸化シリコン薄膜形成
三矢晶洋	電気絶縁型ファラデーカップ導入による高周波電極入射イオンのエネルギー分布測定
楊少菲	流動液体プラズマ処理装置を用いた銀ナノ粒子生成における収率向上

Bachelor's Degree

Name	Title
小笠原知裕	大気圧長尺マイクロ波プラズマを用いた樹脂表面処理における均一性の向上
千葉行徳	誘導結合型プラズマ装置の壁電位がプラズマ特性に及ぼす影響
疋田和也	マイクロ波プラズマCVDによる高電導性グラファイトの高速成膜

◆ 2018

Master's Course

Name	Title
宇田川洸	表面波プラズマにおけるアンテナへのDCパルス電圧印加による接地基板表面へのイオン衝撃付与
石川翔太	スロット励起型大気圧マイクロ波プラズマを用いた有機物の高速除去
小池洋右	大気圧長尺マイクロ波放電におけるプラズマへの電力吸収機構
藤村昇平	リング状マイクロ波プラズマを用いたAgNO₃水溶液流からのAgナノ粒子生成
Bae Hansin	真空紫外吸収分光法を用いた大気圧マイクロ波ラインプラズマの酸素原子計測

Bachelor's Degree

Name	Title
Chu Manh Hung (G30)	Optimization of Waveguide Structure for Atmospheric Pressure Microwave Plasma via Simulations
椎貝雅文	流動液体プラズマ処理における銀ナノ粒子生成過程に関する研究
杉山敦士	大気圧での長尺マイクロ波プラズマを用いた大面積表面処理特性の評価
中原尚哉	電磁流体モデルによる二周波重畳容量結合プラズマの挙動解析

◆ 2017

Doctor's Course

氏名	タイトル
Kensuke SASAI	Study on Production of High Density Microwave Plasma with Slot-excited Antenna and its Application to Polymer Surface Treatment

Master's Course

Name	Title
仙波輝	水流を用いた雰囲気ガス遮蔽下での大気圧マイクロ波水蒸気プラズマ生成とアッシングプロセスへの応用
田村宥人	導波管断面の非対称化によるスロット型長尺大気圧マイクロ波プラズマの生成
堤和紀	マイクロ波プラズマを用いた流体処理における溶質の吸収分光計測

Bachelor's Degree

Name	Title
馬場賀己	同軸型大気圧マイクロ波プラズマ生成とギャップ内発光の顕微計測
福田奨	マイクロ波アンテナへのバイアス電圧印加による表面波プラズマの電位制御
三矢晶洋	DCマグネトロンスパッタにおける高エネルギーO^-の軌道シミュレーション

◆ 2016

Master's Course

Name	Title
巣山拓	ITOマグネトロンスパッタにおける高エネルギー酸素負イオンフラックスの絶対評価
滝藤奨	流体へのプラズマ照射における液中反応促進とその要因
山本匡毅	スロットアンテナ型マイクロ波放電を用いたプラズマCVDの基礎研究

Bachelor's Degree

Name	Title
石川翔太	大気圧マイクロ波プラズマ気相成長による酸化シリコン膜堆積と膜質評価
猪俣弥雄起	進行波型大気圧マイクロ波放電におけるプラズマ密度の自律的均一化機構
宇都宮夏来	導波管へのバイアス電圧印加による表面波プラズマの電位制御
小池洋右	水流を援用した大気遮蔽型マイクロ波プラズマ装置の設計
藤村昇平	空間分解型吸収分光装置を用いたプラズマによる有機溶質分解過程の調査

◆ 2015

Doctor's Course

Name	Title
Haruka SUZUKI	Study on long-scale and high-density plasma using atmospheric-pressure non-thermal microwave discharge

Master's Course

Name	Title
古賀翔太	誘電体を援用した小断面積・長尺マイクロ波放電におけるプラズマ均一性の向上
瀬高健太	ITOスパッタ成膜における高エネルギー負イオンフラックスの基板加熱への寄与
西川拓	マイクロ波放電を用いた無電極高圧水銀ランプの輝度向上と長尺化
福井崇史	VHF電力重畳DCマグネトロンスパッタによるITO膜平坦性の向上

Bachelor's Degree

Name	Title
仙波輝	周期溝構造を利用したプラズマアレイの生成と水処理への応用
新實敏樹	流体処理用マイクロ波プラズマにおける水由来活性種の分光計測
濵田大地	分子ガスを用いた長尺スロット型大気圧マイクロ波プラズマの生成とその特性評価

◆ 2014

Master's Course

Name	Title
鷹羽貴史	電解質溶液を電極としてパルスDCプラズマにおける金属原子放出過程の基礎研究
中野優	大気圧マイクロ波プラズマを用いた幅広表面処理装置の基礎特性
萩原敏哉	表面波プラズマ支援によるMgOの低エネルギーRFスパッタと薄膜評価
福岡侑士	VHF電力重畳によるDCマグネトロンプラズマ制御とスパッタ膜特性向上
藤井良隆	粒子計測およびシミュレーションによる臭化水素プラズマ中の反応過程の検討

Bachelor's Degree

Name	Title
杉岡諒一	周波数変調を応用したマイクロ波プラズマ空間分布制御法の基礎的検討
滝藤奨	インライン型マイクロ波プラズマ液体処理装置の性能向上
山本匡毅	大気圧マイクロ波プラズマを用いた気相成長法の基礎的検討

◆ 2013

Doctor's Course

氏名	タイトル
飯野大輝	臭化水素誘導結合型プラズマにおける臭素ラジカルの表面損失過程に関する研究

Master's Course

Name	Title
江頭一輝	大気圧パルスマイクロ波放電における放電休止時間が電子密度に及ぼす影響
小川勇人	VHF-パルスDC重畳スパッタにおける高エネルギーO^-イオンの制御
近藤将吾	誘電体露出を抑制した新規アンテナによるメートル長マイクロ波プラズマの生成
高橋朋大	パルスマイクロ波プラズマを用いた連続流体処理装置の開発
野田智紀	マイクロ波プラズマ支援無磁場スパッタにおける酸素負イオンエネルギーの計測

Bachelor's Degree

Name	Title
古賀翔太	コンパクトUHFプラズマ源の開発
瀬高健太	液中プラズマを用いた電気めっき技術の基礎研究
西川拓	マイクロ波プラズマを用いた長尺紫外光源の開発
森裕二郎	マイクロ波領域におけるセラミクスの誘電率評価

◆ 2012

Master's Course

Name	Title
大池匠	誘導結合型HBrプラズマ中のBr原子計測
鈴木陽香	マイクロ波液中気泡内における大気圧パルスプラズマの基礎研究
中坊将人	マイクロ波プラズマを用いた無磁場スパッタ装置の基礎研究
村瀬卓也	Ar及びN2ガスを用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの時間変化

Bachelor's Degree

Name	Title
鷹羽貴史	液体電極を用いた大気圧パルスプラズマにおける液相由来原子の吸収分光計測
中野優	コンパクトアンテナ型マイクロ波プラズマ源を用いたシリコン薄膜形成
藤井良隆	誘導結合HBrプラズマにおけるBr原子表面反応確率の評価

◆ 2011

Master's Course

Name	Title
池田昌平	ガス流れを用いたSiH₄/H₂プラズマ中のSiH₃ラジカル分布制御
伊藤裕紀	マイクロ波SiH₄プラズマCVDにおけるアンテナ構造改良とシリコン膜特性向上
金武浩司	マイクロ波液中プラズマによる有機物の高速分解処理
毛家村一樹	ガス流を用いた膜堆積抑制の基礎実験
澤口陽介	質量分析による大気圧マイクロ波プラズマ中活性種の測定

Bachelor's Degree

Name	Title
小川勇人	ラジカル生成断面積測定の高精度化
近藤将吾	コンパクトアンテナ構造を用いたマイクロ波プラズマ生成
野田智紀	数値シミュレーションを援用したマイクロ波重畳スパッタ装置の設計

◆ 2010

Master's Course

Name	Title
宇佐見健二	マイクロ波プラズマ処理による銅/ポリイミド界面の密着性向上とその安定化
鎌田安住	大気圧マイクロ波プラズマの電界及び電子密度の時空間分解計測
黒田俊之	出現質量分析におけるラジカル絶対密度測定の高精度化
齊藤耕平	CH2F2分子への電子衝突によるラジカル生成断面積の測定
坂井淳二	新規アンテナを用いたSiH4/H2マイクロ波プラズマCVDによるシリコン膜特性向上

Bachelor's Degree

Name	Title
鈴木陽香	マイクロ波液中プラズマの生成過程の時分解計測
中坊将人	数値シミュレーションを用いたマグネトロンプラズマ中の高エネルギー粒子挙動の解析
村瀬卓也	吸収分光法による大気圧短パルス放電中のオゾン計測

◆ 2009

Master's Course

Name	Title
浅野弘嗣	915 MHz表面波SiH₄/H₂プラズマを用いた微結晶シリコン製膜における高付着性ラジカルの評価
齋藤良太	パルスマイクロ波による液中気泡内でのプラズマ生成とその応用
楊海鵬	大気圧パルスマイクロ波プラズマの時分解発光分光計測

Bachelor's Degree

Name	Title
池田昌平	SiH₄/H₂マイクロ波プラズマCVDにおける薄膜及び気相粒子種の評価
伊藤裕紀	10 GHｚマイクロ波プラズマ装置の開発と応用
金武浩司	プラズマ生成用アンテナの最適化
毛家村一樹	高密度プラズマを用いたフィルム上へのカーボン薄膜コーティング

◆ 2008

Doctor's Course

Name	Title
Gyu Il Shim	Basic Study on Electrostatic Chucks for Thin Films Plasma Processing

Master's Course

Name	Title
石川喬介	高密度プラズマを用いた立体形状樹脂の高速均一処理
遠藤広孝	高密度プラズマを用いた微結晶シリコン堆積におけるSiH₄解離過程
杉浦宏康	マイクロ波液中プラズマによる有機物の高速分解処理
郡上祐一	表面波プラズマを用いた高分子フィルムの高速表面処理

Bachelor's Degree

Name	Title
後藤和也	ＲＦマグネトロンプラズマ中の負イオンエネルギー分布計測
齊藤耕平	TiCl₄の電子衝突解離によるラジカル生成断面積の測定
坂井淳二	マイクロ波高密度大気圧プラズマ源の開発

◆2007

Doctor's Course

Name	Title
Nicolas Holtzer	Ion Dose Control under Sheath-Lens Effect in Plasma Ion Implantation
中尾禎子	大面積薄膜プロセス用マイクロ波プラズマの基礎研究

Master's Course

Name	Title
高西雄大	大面積薄膜形成用マイクロ波プラズマ装置の開発
林孝信	マイクロ波プラズマCVD法を用いた微結晶シリコン製膜における膜特性向上
山口雄矢	水素生成酸化物セラミクスのプラズマ・表面相互作用

Bachelor's Degree

Name	Title
粂進介	プロセスガス分子用解離断面積測定装置の開発
柳楽和宏	マイクロ波プラズマ生成におけるアンテナ構造の最適化
前田和広	マイクロ波プラズマCVD法によるシリコン系薄膜の堆積と光学・電気特性評価

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