名古屋大学大学院 工学研究科 電子工学専攻 未来エレクトロニクス創造講座 プラズマエレクトロニクスグループ
豊田研究室
当研究室ではプラズマプロセス技術の開発と向上を進める研究を行なっています
■ 学位論文
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◆ 2022年
博士
| 氏名 | タイトル |
|---|
| 田村 晃汰 | SnおよびSn-Bi-Li-Er合金の水素プラズマ相互作用に関する研究 |
修士
| 氏名 | タイトル |
|---|
| 市川 景太 | 高周波電極へ入射する高エネルギー粒子の角度分布計測 |
| 岩田 悠揮 | ガス流を用いた弱減圧形成が マイクロ波プラズマ生成に及ぼす影響 |
| 関 悠斗 | 二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマにおけるイオン組成時間変化の機構解明 |
| 濱口 育未 | バイアス印加による無磁場および有磁場 マイクロ波プラズマの高密度化 |
学士
| 氏名 | タイトル |
|---|
| 赤塚 勇大 | 表面波プローブ法を用いた二周波重畳容量結合型Ar/c-C4F8/O2パルスプラズマの電子密度時分解計測 |
| 川村 隼也 | 二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測 |
| 村瀬 智也 | マイクロ波プラズマによるチタニア粉末の親水化処理装置の開発とチタニアの粉体供給実験 |
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◆ 2021年
博士
| 氏名 | タイトル |
|---|
| Bae Hansin | Study on high-speed plasma-enhanced chemical vapor deposition of conductive carbon by microwave power |
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 小笠原 知裕 | 大気圧長尺マイクロ波プラズマ源の高性能化と分子ガスを用いた表面処理応用 |
| 千葉 行徳 | 絶縁ライナー内で生成されたプラズマへの接地金属面露出がプラズマ電位に及ぼす影響 |
| 疋田 和也 | 表面波プラズマを用いた銀ナノ粒子の加熱溶融 |
| 山口 和也 | 流動液体プラズマ処理装置を用いた銀ナノ粒子の高効率合成 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| 小川 泰那 | 高密度マイクロ波プラズマにより処理した水の大腸菌殺菌能力評価 |
| 加藤 閣人 | 質量分析法を用いた二周波重畳容量結合型Ar/c-C4F8/O2パルスプラズマにおけるフルオロカーボンイオンの時分解計測 |
| 原田 健汰 | 高周波容量結合型プラズマにおいて電磁波により生じる周方向プラズマ不均一性の調査 |
| 柚木 健吾 | 流動液体プラズマ装置を用いたAgナノ粒子合成の高収率化 |
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◆ 2020年
博士
| 氏名 | タイトル |
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| 森山 誠 | 容量結合型プラズマ中における高アスペクト比ホール底部のチャージアップ挙動に関する研究 |
修士
| 氏名 | タイトル |
|---|
| Chu Manh Hung (G30) | Heat Transfer in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma |
| 鈴木 丈 | 流動液体プラズマ処理装置を用いた銀ナノ粒子の安定合成 |
| 中原 尚哉 | 二周波重畳容量結合型Ar/C4F8プラズマにおける高アスペクト比ホール底部の電荷密度評価 |
学士
| 氏名 | タイトル |
|---|
| 市川 景太 | イメージング法を用いた基板入射高速粒子の角度分布計測 |
| 岩田 悠揮 | 大気圧長尺マイクロ波プラズマ生成装置の改良による酸素添加プラズマの安定性の向上 |
| 関 悠斗 | 大気圧質量分析器の開発とDC放電中クラスターイオン計測への応用 |
| 濱口 育未 | 高密度マイクロ波プラズマを用いた高導電性炭素膜の広幅堆積 |
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◆ 2019年
修士
| 氏名 | タイトル |
|---|
| 小間 浩嗣 | 酸素添加大気圧長尺マイクロ波プラズマを用いた広幅樹脂の表面処理 |
| 田村 晃汰 | グロー放電水素プラズマを用いた金属スズの水素吸蔵量評価 |
| 馬場 賀己 | ガス流れを持つスロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造解析 |
| 福田 奨 | プラズマ電位制御型 マイクロ波プラズマCVDによる 接地基板上への酸化シリコン薄膜形成 |
| 三矢 晶洋 | 電気絶縁型ファラデーカップ導入による 高周波電極入射イオンのエネルギー分布測定 |
| 楊 少菲 | 流動液体プラズマ処理装置を用いた銀ナノ粒子生成における収率向上 |
学士
| 氏名 | タイトル |
|---|
| 小笠原 知裕 | 大気圧長尺マイクロ波プラズマを用いた樹脂表面処理における均一性の向上 |
| 千葉 行徳 | 誘導結合型プラズマ装置の壁電位がプラズマ特性に及ぼす影響 |
| 疋田 和也 | マイクロ波プラズマCVDによる高電導性グラファイトの高速成膜 |
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◆ 2018年
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 宇田川 洸 | 表面波プラズマにおけるアンテナへのDCパルス電圧印加による接地基板表面へのイオン衝撃付与 |
| 石川 翔太 | スロット励起型大気圧マイクロ波プラズマを用いた有機物の高速除去 |
| 小池 洋右 | 大気圧長尺マイクロ波放電におけるプラズマへの電力吸収機構 |
| 藤村 昇平 | リング状マイクロ波プラズマを用いたAgNO3水溶液流からのAgナノ粒子生成 |
| Bae Hansin | 真空紫外吸収分光法を用いた大気圧マイクロ波ラインプラズマの酸素原子計測 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| Chu Manh Hung (G30) | Optimization of Waveguide Structure for Atmospheric Pressure Microwave Plasma via Simulations |
| 椎貝 雅文 | 流動液体プラズマ処理における銀ナノ粒子生成過程に関する研究 |
| 杉山 敦士 | 大気圧での長尺マイクロ波プラズマを用いた大面積表面処理特性の評価 |
| 中原 尚哉 | 電磁流体モデルによる二周波重畳容量結合プラズマの挙動解析 |
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◆ 2017年
博士
| 氏名 | タイトル |
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| 笹井 建典 | スロット励起高密度マイクロ波プラズマの生成と樹脂表面処理への応用に関する研究 |
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 仙波 輝 | 水流を用いた雰囲気ガス遮蔽下での大気圧マイクロ波水蒸気プラズマ生成とアッシングプロセスへの応用 |
| 田村 宥人 | 導波管断面の非対称化によるスロット型長尺大気圧マイクロ波プラズマの生成 |
| 堤 和紀 | マイクロ波プラズマを用いた流体処理における溶質の吸収分光計測 |
学士
| 氏名 | タイトル |
|---|
| 馬場 賀己 | 同軸型大気圧マイクロ波プラズマ生成とギャップ内発光の顕微計測 |
| 福田 奨 | マイクロ波アンテナへのバイアス電圧印加による表面波プラズマの電位制御 |
| 三矢 晶洋 | DCマグネトロンスパッタにおける高エネルギーO-の軌道シミュレーション |
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◆ 2016年
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 巣山 拓 | ITOマグネトロンスパッタにおける高エネルギー酸素負イオンフラックスの絶対評価 |
| 滝藤 奨 | 流体へのプラズマ照射における液中反応促進とその要因 |
| 山本 匡毅 | スロットアンテナ型マイクロ波放電を用いたプラズマCVDの基礎研究 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| 石川 翔太 | 大気圧マイクロ波プラズマ気相成長による酸化シリコン膜堆積と膜質評価 |
| 猪俣 弥雄起 | 進行波型大気圧マイクロ波放電におけるプラズマ密度の自律的均一化機構 |
| 宇都宮 夏来 | 導波管へのバイアス電圧印加による表面波プラズマの電位制御 |
| 小池 洋右 | 水流を援用した大気遮蔽型マイクロ波プラズマ装置の設計 |
| 藤村 昇平 | 空間分解型吸収分光装置を用いたプラズマによる有機溶質分解過程の調査 |
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◆ 2015年
博士
| 氏名 | タイトル |
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| 鈴木 陽香 | 非熱平衡大気圧マイクロ波放電を用いた長尺高密度プラズマに関する研究 |
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 古賀 翔太 | 誘電体を援用した小断面積・長尺マイクロ波放電におけるプラズマ均一性の向上 |
| 瀬高 健太 | ITOスパッタ成膜における高エネルギー負イオンフラックスの基板加熱への寄与 |
| 西川 拓 | マイクロ波放電を用いた無電極高圧水銀ランプの輝度向上と長尺化 |
| 福井 崇史 | VHF電力重畳DCマグネトロンスパッタによるITO膜平坦性の向上 |
学士
| 氏名 | タイトル |
|---|
| 仙波 輝 | 周期溝構造を利用したプラズマアレイの生成と水処理への応用 |
| 新實 敏樹 | 流体処理用マイクロ波プラズマにおける水由来活性種の分光計測 |
| 濵田 大地 | 分子ガスを用いた長尺スロット型大気圧マイクロ波プラズマの生成とその特性評価 |
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◆ 2014年
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 鷹羽 貴史 | 電解質溶液を電極としてパルスDCプラズマにおける金属原子放出過程の基礎研究 |
| 中野 優 | 大気圧マイクロ波プラズマを用いた幅広表面処理装置の基礎特性 |
| 萩原 敏哉 | 表面波プラズマ支援によるMgOの低エネルギーRFスパッタと薄膜評価 |
| 福岡 侑士 | VHF電力重畳によるDCマグネトロンプラズマ制御とスパッタ膜特性向上 |
| 藤井 良隆 | 粒子計測およびシミュレーションによる臭化水素プラズマ中の反応過程の検討 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| 杉岡 諒一 | 周波数変調を応用したマイクロ波プラズマ空間分布制御法の基礎的検討 |
| 滝藤 奨 | インライン型マイクロ波プラズマ液体処理装置の性能向上 |
| 山本 匡毅 | 大気圧マイクロ波プラズマを用いた気相成長法の基礎的検討 |
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◆ 2013年
博士
| 氏名 | タイトル |
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| 飯野 大輝 | 臭化水素誘導結合型プラズマにおける臭素ラジカルの表面損失過程に関する研究 |
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 江頭 一輝 | 大気圧パルスマイクロ波放電における放電休止時間が電子密度に及ぼす影響 |
| 小川 勇人 | VHF-パルスDC重畳スパッタにおける高エネルギーO-イオンの制御 |
| 近藤 将吾 | 誘電体露出を抑制した新規アンテナによるメートル長マイクロ波プラズマの生成 |
| 高橋 朋大 | パルスマイクロ波プラズマを用いた連続流体処理装置の開発 |
| 野田 智紀 | マイクロ波プラズマ支援無磁場スパッタにおける酸素負イオンエネルギーの計測 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| 古賀 翔太 | コンパクトUHFプラズマ源の開発 |
| 瀬高 健太 | 液中プラズマを用いた電気めっき技術の基礎研究 |
| 西川 拓 | マイクロ波プラズマを用いた長尺紫外光源の開発 |
| 森 裕二郎 | マイクロ波領域におけるセラミクスの誘電率評価 |
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◆ 2012年
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 大池 匠 | 誘導結合型HBrプラズマ中のBr原子計測 |
| 鈴木 陽香 | マイクロ波液中気泡内における大気圧パルスプラズマの基礎研究 |
| 中坊 将人 | マイクロ波プラズマを用いた無磁場スパッタ装置の基礎研究 |
| 村瀬 卓也 | Ar及びN2ガスを用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの時間変化 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| 鷹羽 貴史 | 液体電極を用いた大気圧パルスプラズマにおける液相由来原子の吸収分光計測 |
| 中野 優 | コンパクトアンテナ型マイクロ波プラズマ源を用いたシリコン薄膜形成 |
| 藤井 良隆 | 誘導結合HBrプラズマにおけるBr原子表面反応確率の評価 |
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◆ 2011年
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 池田 昌平 | ガス流れを用いたSiH4/H2プラズマ中のSiH3ラジカル分布制御 |
| 伊藤 裕紀 | マイクロ波SiH4プラズマCVDにおけるアンテナ構造改良とシリコン膜特性向上 |
| 金武 浩司 | マイクロ波液中プラズマによる有機物の高速分解処理 |
| 毛家村 一樹 | ガス流を用いた膜堆積抑制の基礎実験 |
| 澤口 陽介 | 質量分析による大気圧マイクロ波プラズマ中活性種の測定 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| 小川 勇人 | ラジカル生成断面積測定の高精度化 |
| 近藤 将吾 | コンパクトアンテナ構造を用いたマイクロ波プラズマ生成 |
| 野田 智紀 | 数値シミュレーションを援用したマイクロ波重畳スパッタ装置の設計 |
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◆ 2010年
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 宇佐見 健二 | マイクロ波プラズマ処理による銅/ポリイミド界面の密着性向上とその安定化 |
| 鎌田 安住 | 大気圧マイクロ波プラズマの電界及び電子密度の時空間分解計測 |
| 黒田 俊之 | 出現質量分析におけるラジカル絶対密度測定の高精度化 |
| 齊藤 耕平 | CH2F2分子への電子衝突によるラジカル生成断面積の測定 |
| 坂井 淳二 | 新規アンテナを用いたSiH4/H2マイクロ波プラズマCVDによるシリコン膜特性向上 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| 鈴木 陽香 | マイクロ波液中プラズマの生成過程の時分解計測 |
| 中坊 将人 | 数値シミュレーションを用いたマグネトロンプラズマ中の高エネルギー粒子挙動の解析 |
| 村瀬 卓也 | 吸収分光法による大気圧短パルス放電中のオゾン計測 |
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◆ 2009年
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 浅野 弘嗣 | 915 MHz表面波SiH4/H2プラズマを用いた微結晶シリコン製膜における高付着性ラジカルの評価 |
| 齋藤 良太 | パルスマイクロ波による液中気泡内でのプラズマ生成とその応用 |
| 楊 海鵬 | 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時分解発光分光計測 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| 池田 昌平 | SiH4/H2マイクロ波プラズマCVDにおける薄膜及び気相粒子種の評価 |
| 伊藤 裕紀 | 10 GHzマイクロ波プラズマ装置の開発と応用 |
| 金武 浩司 | プラズマ生成用アンテナの最適化 |
| 毛家村 一樹 | 高密度プラズマを用いたフィルム上へのカーボン薄膜コーティング |
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◆ 2008年
博士
| 氏名 | タイトル |
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| Gyu Il Shim | Basic Study on Electrostatic Chucks for Thin Films Plasma Processing |
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 石川 喬介 | 高密度プラズマを用いた立体形状樹脂の高速均一処理 |
| 遠藤 広孝 | 高密度プラズマを用いた微結晶シリコン堆積におけるSiH4解離過程 |
| 杉浦 宏康 | マイクロ波液中プラズマによる有機物の高速分解処理 |
| 郡上 祐一 | 表面波プラズマを用いた高分子フィルムの高速表面処理 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| 後藤 和也 | ＲＦマグネトロンプラズマ中の負イオンエネルギー分布計測 |
| 齊藤 耕平 | TiCl4の電子衝突解離によるラジカル生成断面積の測定 |
| 坂井 淳二 | マイクロ波高密度大気圧プラズマ源の開発 |
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◆2007年
博士
| 氏名 | タイトル |
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| Nicolas Holtzer | Ion Dose Control under Sheath-Lens Effect in Plasma Ion Implantation |
| 中尾 禎子 | 大面積薄膜プロセス用マイクロ波プラズマの基礎研究 |
修士
| 氏名 | タイトル |
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| 高西 雄大 | 大面積薄膜形成用マイクロ波プラズマ装置の開発 |
| 林 孝信 | マイクロ波プラズマCVD法を用いた微結晶シリコン製膜における膜特性向上 |
| 山口 雄矢 | 水素生成酸化物セラミクスのプラズマ・表面相互作用 |
学士
| 氏名 | タイトル |
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| 粂 進介 | プロセスガス分子用解離断面積測定装置の開発 |
| 柳楽 和宏 | マイクロ波プラズマ生成におけるアンテナ構造の最適化 |
| 前田 和広 | マイクロ波プラズマCVD法によるシリコン系薄膜の堆積と光学・電気特性評価 |
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